旋片式真空泵工作原理
時間:2007/8/23 來源:浙(zhè)江香蕉视频网站江泵業有限公司
旋片式真空泵的工作原理說明 |
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雙(shuāng)級旋(xuán)片式真空泵由兩個工作室(shì)組成,兩室前後串聯,同向等速旋轉,Ⅰ室是低真空級(jí),Ⅱ室是高真空級,被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室,當進入的氣體壓力較高時,氣(qì)體經Ⅱ室壓縮,壓強急速增(zēng)大,被壓縮的氣(qì)體不僅(jǐn)從高級排氣閥排出,而且經過中壁(bì)通道,進入Ⅰ室,在Ⅰ室被壓縮,從低級排氣閥排出;當進入Ⅱ室的氣體壓力(lì)較低時,雖(suī)經Ⅱ室的(de)壓縮,也推不開高級排氣閥排出,氣體全部經中壁通道(dào)進入Ⅰ室,經Ⅰ室(shì)的繼續壓縮(suō),由低(dī)級排氣閥排出,因此雙(shuāng)級旋片式真空泵比單級旋(xuán)片式真空泵的極限真空高。 | |||
雙級旋片式真空泵工作原理圖 1-高級排氣閥;2-通(tōng)道;3-低(dī)級排氣閥(fá) |