1、真空泵的工作壓強應該滿足真空(kōng)設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的(de)真空度,選用的真(zhēn)空泵的真空度至(zhì)少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真(zhēn)空度要(yào)高於真空設備真空度半個到一個數量級。
2、正確地選擇真空泵(bèng)的工作點。每種泵都有一定的工作壓強範(fàn)圍(wéi),如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強範圍內,泵的抽速隨壓強而變(biàn)化,其穩定的工作壓強範圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這(zhè)個範圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在(zài)10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小於1×10-5mmHg為好(hǎo)。
3、真空泵在其工作壓(yā)強下,應能排走真空設備工藝(yì)過程中產生的全部氣體量。
4、正(zhèng)確地組合真空泵(bèng)。由於真空泵(bèng)有(yǒu)選擇性抽氣,因而,有(yǒu)時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華(huá)泵對氫有很高的(de)抽速(sù),但(dàn)不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極(jí)型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者(zhě)組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低於大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使(shǐ)用(yòng)。
5、真空設備對油汙(wū)染的要求。若設備嚴(yán)格要求無油時(shí),應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附(fù)泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不(bú)嚴格,可以選擇有油泵(bèng),加上一(yī)些防油汙染措施,如加冷阱、障板、擋(dǎng)油阱等,也(yě)能(néng)達到(dào)清潔真(zhēn)空要求。
6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒(lì)灰塵,有無腐(fǔ)蝕性等。選擇(zé)真空泵時,需要知道氣體(tǐ)成分,針對被抽氣體選擇相(xiàng)應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵(bèng)的(de)進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
7、真空(kōng)泵排出來的油蒸氣對環境的(de)影響如何。如果環境不允許有汙染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到(dào)室外。
8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許(xǔ),應選擇無(wú)振動(dòng)的泵或(huò)者采取防振動措(cuò)施。
9、真空泵的價格、運轉及維修(xiū)費用。
水環式真空(kōng)泵的選擇
一、泵類型的確定
泵的(de)類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力(lì)而定。
泵工作時,需要注(zhù)意以下兩個方麵:
1.盡可能要(yào)求在高效區內(nèi),也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域內運行。
2.應避免在大真(zhēn)空度或(huò)大排氣壓力附近運行(háng)。在此區域內運行,不僅效率極低,而且工作很不穩定,易(yì)產生振動和噪音。對於真空度較(jiào)高的真空泵而言,在此區域之(zhī)內運行(háng),往(wǎng)往還會發生汽蝕現象,產(chǎn)生這種現象的明顯標誌是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工(gōng)作。
根據以上(shàng)原則,當泵(bèng)所需的真空度或氣體壓(yā)力不高時,可優先在單級泵中選取(qǔ)。如果真空度或排氣壓(yā)力較高,單級泵(bèng)往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能(néng)曲線(xiàn)在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵。如果真空(kōng)度要(yào)求在-710mmHg以上,可選(xuǎn)用水(shuǐ)環-大氣泵或水(shuǐ)環-羅茨真空機組作為抽真空裝置。
如(rú)果隻(zhī)作真空泵用,則選用(yòng)單作用泵比(bǐ)較好。因為單作(zuò)用泵的構造簡單,容易製造和維護,且在(zài)高真空情況下抗汽蝕(shí)性好。
如果(guǒ)僅作較大氣量的壓(yā)縮機使用,則選用雙作用的泵(bèng)比較(jiào)合適。因為雙作用泵(bèng)的氣量大,體積(jī)小,重(chóng)量輕,徑向力能得到自動平衡,軸不容易產(chǎn)生疲勞(láo)斷裂,泵的使用壽命較長。
二、根據係統所需的氣量選擇真空泵
初(chū)步選定了泵的類型(xíng)之後,對於真空泵,還要根據係(xì)統(tǒng)所需(xū)的氣量來選用泵(bèng)的型號。
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