一、真空泵係（xì）統熱處理需（xū）要注意的幾點：

1．真空爐處置鈦合金時，不宜用（yòng）氮（dàn）氣作為冷卻氣體（tǐ），由於鈦和氮在高溫下反響，構成金黃色的氮化鈦。

2．真空爐活動（dòng）銜接（jiē）局部全部采用O型橡膠圈密封（fēng）銜（xián）接，此局部均通水冷卻。

3．工件在真空狀態（tài）下淬火，應運用真空淬火油，此油（yóu）具有較低的飽和蒸氣壓。

4．真空爐（lú）的頤養（yǎng）應在真空（kōng）或（huò）充純氮狀態下，防止平常不用時吸氣，吸潮。

5．國內真空爐的（de）壓升率（lǜ）應不大（dà）於1.33Pa/h ，國外某些企（qǐ）業的規（guī）範為0.67Pa/h

6．真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該堅持間距。

7．升溫過程中，工件及爐內資料會放氣，使真空度降落。

8．真空（kōng）回（huí）火、真空退火、真空固溶處置及真空時（shí）效的加熱溫度普通與常規處置時加熱溫（wēn）度相（xiàng）同。

9．真空（kōng）回火爐應該具有快冷安裝。冷卻水的壓力應該大於0.2Mpa，流量應可調。

10．冷卻（què）氣體：鋼（gāng）普通采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用（yòng）百（bǎi）分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之（zhī）99.995的氬氣。

11．升溫：放入工件後，普通先預（yù）抽至6.67Pa時方可升溫加熱。

二、金屬常用熱處理的幾種方法：

將金屬工件在（zài） 1個大（dà）氣壓以下(即負壓下)加熱的金屬熱處置工藝。20世紀20年代末﹐隨（suí）著（zhe）電真空技術的開展﹐呈現了真空熱處置工藝﹐當時（shí）還僅用（yòng）於退火和脫氣（qì）。由於設備的限製﹐這種工藝較長時間未能取得大的停頓。60～70年代﹐陸續研製勝利氣冷式真空熱處置爐（lú）﹑冷壁真空油（yóu）淬爐和真空（kōng）加熱高壓氣淬爐（lú）等﹐使真空熱處置工藝得（dé）到（dào）了（le）新的開展。在真空中停止滲碳﹐在真（zhēn）空中等離子場的作用下停止滲碳﹑滲氮或滲（shèn）其他元素的技術停頓﹐又使真空熱處置進一步（bù）擴展了應用範圍。
特性

金屬零件在真空中的熱處置能避免氧化脫碳並具有脫氣效應﹐但（dàn）金屬元素可能蒸發（fā）。

避免氧化（huà）脫碳

真空熱處置爐的加熱室在工作時處於接（jiē）近真空（kōng）狀態﹐僅存在微量一（yī）氧化碳和氫氣等﹐它們對於（yú）加熱的金屬是複原性的﹐不發作氧化脫碳的反響﹔同時還能使（shǐ）已構（gòu）成（chéng）的氧化膜複原﹐因而加熱後的金屬工件外表（biǎo）能夠堅持原（yuán）來的金屬光澤和良好的外表（biǎo）性能。

脫氣效應

金屬零件在真空環境中加熱時（shí）﹐金屬中的有害氣體﹐例如鈦合金中（zhōng）的氫和氧﹐會在高（gāo）溫下逸出﹐有利（lì）於進（jìn）步金屬的機械性能。

金（jīn）屬元素蒸發

各種（zhǒng）元素都有本身的蒸氣（qì）壓﹐假如環（huán）境中的壓力低於某種元（yuán）素的蒸氣壓﹐這種元素就會蒸發。在（zài）真空熱處置時﹐應依據鋼中所含合金元素的蒸氣壓（yā）來選擇加熱（rè）時的真空度或溫度﹐以（yǐ）防止（zhǐ）合金元素蒸發。

工藝（yì）

真空（kōng）熱處置可用（yòng）於退火﹑脫氣﹑固溶熱處置﹑淬火﹑回火和沉（chén）澱（diàn）硬化等工（gōng）藝。在通入恰當介質（zhì）後﹐也可（kě）用於化學熱處置。

真空中的退火﹑脫氣﹑固溶處置主（zhǔ）要用於純潔水平或外表質量請求（qiú）高的（de）工件﹐如難熔（róng）金屬的軟化和去應（yīng）力﹑不鏽鋼和鎳（niè）基合（hé）金的固溶處置﹑鈦（tài）和鈦合（hé）金的脫氣處置﹑軟磁合（hé）金改善導磁率和（hé）矯頑力的退火﹐以及請（qǐng）求光亮的碳鋼﹑低合金鋼和銅等的（de）光亮退火（huǒ）。真（zhēn）空中的淬火有氣淬和（hé）液淬兩種。氣淬（cuì）行將工件在真空加熱後向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)停止冷卻。適用（yòng）於氣淬（cuì）的有高速鋼和高碳高鉻鋼（gāng）等馬氏體臨（lín）界冷卻速度較低的資料（liào）。液淬是將工件在加熱室中加熱後﹐移至冷卻室中充入高純氮氣並（bìng）立刻送入淬火油槽（cáo）﹐快速冷卻。假如需求高的外表質量﹐工件真空淬火和固溶熱處置後的回火和沉澱硬化仍（réng）應在真空爐中（zhōng）停止。

真空滲（shèn）碳是將工（gōng）件裝（zhuāng）入真空爐中﹐抽真（zhēn）空並加熱﹐使爐內淨化﹐到達滲碳溫度後通入碳氫化合物(如丙烷（wán）)停止滲碳﹐經過一定時間後切斷（duàn）滲（shèn）碳劑﹐再抽真空（kōng）停止擴散。這種辦法可完成高溫滲碳(1040℃)﹐縮短（duǎn）滲（shèn）碳時間。滲層中不呈現內氧化﹐也不存在滲（shèn）碳層外表的含碳（tàn）量低於次層（céng）的問題﹐並可（kě）經過脈衝方式真（zhēn）空滲碳﹐使盲孔和小孔取得平均滲碳層。

應用

零件經真空熱處置後﹐畸變小﹐質量高（gāo）﹐且工藝自身操（cāo）作靈敏（mǐn）﹐無公害。因而真空（kōng）熱處置不隻是某些（xiē）特殊合金熱處置的必要手腕﹐而且在普（pǔ）通工程用鋼的熱處置中也取得應用﹐特別（bié）是工具﹑模具和精（jīng）細耦件等﹐經真空熱處置後運用壽命較普（pǔ）通熱處置有較（jiào）大的（de）進步。例如某些模具經真空熱處置後﹐其壽命比原來鹽浴（yù）處置的高40～400％﹐而有許多工具的（de）壽命可進步3～4倍左右。此外﹐真空加熱爐可在較高溫度下工作﹐且（qiě）工件能夠堅持幹淨的外表﹐因此能加速化學熱處置（zhì）的吸附和反響過程。因而﹐某些化學熱處置﹐如（rú）滲碳﹑滲氮﹑滲（shèn）鉻（gè）﹑滲（shèn）硼﹐以（yǐ）及多元共滲都能得到更快﹑更好的效果。