2、真空度
處（chù）於真空狀態下的氣體稀簿（bù）程度，通常用“真空度高”和“真（zhēn）空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

3、真空度單位
通常用托（Torr）為單位，近年國際上取用帕（Pa）作為單位。
1托＝1/760大氣壓＝1毫（háo）米汞柱

4、托與帕（pà）的轉換
1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托（tuō）

5、平均自由程
作無規則熱運動的（de）氣體粒子，相繼兩次（cì）碰撞所飛（fēi）越的平均距離，用符號“λ”表示。

6、流量
單位時（shí）間流（liú）過任（rèn）意截麵的氣體量，符號用（yòng）“Q”表示，單（dān）位（wèi）為帕·升（shēng）/秒（miǎo）（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

7、流導
表示真空管道通過氣體的能力。單位（wèi）為升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等（děng）於管道流量除以管道兩端壓強差。符號（hào）記作“U”。
U＝Q/(P2- P1)

8、壓力或壓強
氣體分子作用於容器（qì）壁的單位（wèi）麵積上的（de）力，用“P”表示。

9、標準大氣壓
壓強為（wéi）每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。

10、極限真空
真空容器經充分抽氣後，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常（cháng）真空容器須經12小時（shí）煉氣，再經12小時抽真空，後一個小時每隔10分鍾測量一次，取其（qí）10次的平（píng）均值為極限真（zhēn）空值。

11、抽氣速（sù）率
在一定的壓強和溫度下，單位（wèi）時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱（chēng）為抽氣速（sù）率，簡稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

12、熱偶真（zhēn）空計（jì）
利（lì）用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。

13、電離真空計（又收熱陰極電離計）
由筒狀收集極，柵網和（hé）位於柵網中心的（de）燈絲構成，筒狀收集極在柵網（wǎng）外麵。熱陰極發射電子電離氣體分子，離子被收集極收（shōu）集（jí），根據收集的（de）離子流（liú）大小來測（cè）量氣體壓（yā）強的真空計（jì）。

14、複合真空計
由熱偶真空計與熱陰極（jí）電離真空計組成（chéng），測（cè）量範圍從大氣~10-5Pa。

15、冷陰（yīn）極電離計
陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒（tǒng）內形成（chéng）潘寧放電產生離子（zǐ），根據陰極板（bǎn）收集的離子（zǐ）流的大小來測定（dìng）氣體壓強的真（zhēn）空計。

16、電阻真空計
利（lì）用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。

17、麥克勞真（zhēn）空計（壓縮式真空計）
將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一（yī）極小體積，然（rán）後比較開管和閉管的（de）液柱差，利用玻（bō）義爾（ěr）定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。

18、B－A規
這是一種陰極（jí）與收集極倒置的（de）熱陰極電離規。收集極是一根細（xì）絲（sī），放在柵網中心，燈絲放在柵網外麵，因而減少軟X射線影響，延伸測（cè）量下（xià）限，可測超高真空。

19、水環真空泵
泵的葉輪轉子旋轉而產生水（shuǐ）環（huán）。由於轉子偏心旋轉而使水環與葉片（piàn）間容積發生周期性改變而進（jìn）行抽氣的（de）機械真（zhēn）空泵。

20、往複真空泵
利用活塞的往複運動而進行抽氣的機械真空（kōng）泵。

21、油封機械真空泵
用油來保持密封的機械真空泵，可分為（wéi）定片式、旋片式、滑閥式（shì）、餘擺線式等。

22、羅茨真（zhēn）空泵
具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真（zhēn）空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配（pèi）油封、水環等可直排大氣的真空泵。

23、渦輪分子真空泵
有一高速旋轉的葉輪，當氣體分子與高速旋轉的渦輪葉片相碰撞時就被驅向出氣口再由前級（jí）泵抽除。

24、油（yóu）擴散真空泵
擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣（qì）體分子不斷地向蒸流中擴散，並被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓（yā）縮後再由前級泵排除。

25、低溫真空泵
利用（yòng）20K以下（xià）的（de）低溫表麵凝聚吸附氣體的真空泵。

26、冷阱（水冷擋板）
置於真空容器和泵之（zhī）間，用於吸附氣體或（huò）捕（bǔ）集油蒸汽的裝置。

27、氣鎮閥
油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，並裝上調節閥，當打開閥並調節入氣量，轉子轉到某一位置（zhì），空氣就（jiù）通過此孔摻入（rù）壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致（zhì）凝結而和摻入的氣體一起被排（pái）除（chú）泵外起此作用（yòng）的閥門稱為氣鎮閥。

28、真空冷凍幹燥（zào）
真空（kōng）冷凍幹燥，也稱升華幹燥。其原（yuán）理是將材料冷（lěng）凍，使其含有的水份變成冰塊，然後在真空下使冰升（shēng）華而達到幹燥（zào）目的。

29、真空蒸鍍
在真空環境中，將材料加熱並鍍到（dào）基片（piàn）上稱為真空（kōng）蒸鍍（dù），或叫真空鍍（dù）膜。

30、真空幹燥
利（lì）用真空環（huán）境（jìng）下沸點低的特點來幹燥物品的方法。

31、真空係（xì）統常用名（míng）稱
(1)主（zhǔ）泵：在真空係統（tǒng）中，用於獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵（bèng），如（rú）真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵（bèng）。
(2)前級泵：用（yòng）於維持某一真（zhēn）空泵前級壓強低於其（qí）臨界前級壓強（qiáng）的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽（chōu）氣，並將係統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜（mó）機中的滑閥泵，就是粗油泵。
(4)維持泵：在（zài）真空係統中（zhōng），氣量很小時（shí），不能有效地利用前級泵。為此配置（zhì）一種容量較小的輔助泵來維持（chí）主泵工作（zuò），此泵叫維持泵。如擴散泵出口處（chù）配一（yī）台小（xiǎo）型旋（xuán）片泵，就是維持泵。