高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華（huá）泵、擴散泵。

    中真（zhēn）空（kōng）——幹泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油（yóu）增壓泵、水蒸氣噴射泵。

    粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵（bèng）、液環泵、往（wǎng）複式真空泵。

    真（zhēn）空泵的（de）市場根據用戶的需要而（ér）發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自於半導體工業的迅速發展以及幹泵和（hé）分子泵應（yīng）用領域（yù）的日益擴大。

    目前，全球（qiú）真空泵市（shì）場（chǎng）的（de）年銷售額約20億美元，年增長率在7％左右。

    我國生產真空（kōng）泵的廠家很（hěn）多，通過對全球真空泵市場的分（fèn）析我們可以看出，各類真（zhēn）空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我（wǒ）國真空泵製造業有著悠久的（de）曆史和雄厚的基礎，國產真泵已經在各個不同領域得到應用並經過驗證（zhèng），有些（xiē）泵還（hái）出口國外，得到國外用戶的（de）認（rèn）可（kě）並受到好評，應該說我國真空泵製造業（yè）在國（guó）內外市場仍然有著巨大的發展（zhǎn）空間。

    1、液環泵

    雖然液（yè）環（huán）泵屬於粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡（fǎng）、造紙、醫藥等領域仍然有著（zhe）很大的（de）市場。在國外，液環泵的銷售額占全（quán）部真空泵市場（chǎng）的14％，僅次於（yú）幹泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售網絡，不斷擴（kuò）大在我國的市場份額（é）。由於液環泵（bèng）大部分（fèn）是鑄件，加工要求也不（bú）高（gāo），屬勞動密集型產品（pǐn），所以國產液環泵在價格上有競（jìng）爭優（yōu）勢，關鍵（jiàn）是要改（gǎi）進設計，縮小（xiǎo）體（tǐ）積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

    2、滑閥泵

    由於滑閥泵比較（jiào）耐用、可靠，國（guó）內外各種真空爐、鍍膜機（jī）以及幹燥（zào）、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空（kōng）廠都在中國尋找合作夥伴（bàn）。為了使國產滑閥泵能（néng）夠（gòu）進入國際市場（chǎng），必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行（háng）的可靠（kào）性。

3、直聯（lián）旋片泵

    隨著真（zhēn）空技術在各個應用領域的不斷擴大，直（zhí）聯旋片泵的需求量越來越大。由於這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真（zhēn）空廠商（shāng）在中國建立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上（shàng）已經過關，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產泵仍然有競爭優勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真（zhēn）空泵油的性能質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運（yùn）行可靠，同時還要進一步提高國產直聯旋（xuán）片泵抽除水蒸氣的（de）能力（lì）。

    4、羅茨泵

    從國外羅茨泵生產情（qíng）況來看，國外（wài）幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5％，這5家總計才20％，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。目前，國內外幾乎所有大型或小型的高真空（kōng）和中真空係（xì）統（tǒng），為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨（cí）泵，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上（shàng）設法進（jìn）入國際市場，這樣就必須（xū）進（jìn）一（yī）步降低國產羅茨泵的振動噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔度。另外（wài），還（hái）要考慮（lǜ）到有些國家和地區的電源頻（pín）率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下（xià）長期運行的可靠性。

    目前，國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很（hěn）快，技術上（shàng）已（yǐ）經成熟。由於這種泵在排氣口的下麵裝有氣（qì）體（tǐ）冷卻器，其中一部分被冷（lěng）卻的氣體通過管道返回泵（bèng）腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極（jí）限真空度的要求，這種泵可以串聯使用（yòng），一般前麵（miàn）加一台（tái）氣冷式直（zhí）排大氣羅茨泵（bèng），所達到的極（jí）限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由於在泵（bèng）腔內（nèi）沒（méi）有工作介質，實（shí）際上也是屬於幹泵。目前，這種氣（qì）冷式（shì）直排大氣羅（luó）茨泵及機組（zǔ）已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。

    5、分子泵

    分子（zǐ）泵在國外半導體領域裏（lǐ）的許多工（gōng）藝場合（hé）是用來代替低溫（wēn）泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置（zhì）都彩複合分（fèn）子泵和牽引泵作為主泵（bèng）。

    由於分子泵（bèng）對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速（sù）的四分之一，所以分子（zǐ）泵的排氣時間比低（dī）溫泵長。為了提高抽速（sù），國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫（wēn）板捕獲，其他氣體則（zé）由分子泵抽走。這種低溫分（fèn）子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率（lǜ）又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是我國真空泵製（zhì）造業發（fā）展的重點。首先，分（fèn）子泵要從小到大建立完整係列，並研究開發各（gè）種複合分子泵、牽（qiān）引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。

    6、幹泵

    國外幹泵市場的不（bú）斷增長，其主要驅動（dòng）來自於半導體行業、化學（xué）工業、薄膜（mó）產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用幹式真空泵代替油封式機械泵，歐美半（bàn）導體行業45％以上用幹式真空（kōng）泵代（dài）替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量（liàng）。為了滿足不同應用領域和不同工（gōng）況的要求，國外有多級羅茨真（zhēn）空泵、多級爪式（shì）真空泵、螺杆（gǎn）式真空泵、渦旋式真空（kōng）泵、往複式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等（děng）。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速（sù）從20m³/h～500m³/h。據統計，目前國產幹泵的應用還不足1％，國內半導體工業用的幹泵全部從國外進口，其價格（gé）十分（fèn）昂貴。所以，我國應大力研究開發幹泵，使幹泵成為我國真空（kōng）工業新的經濟（jì）增長點。